在進(jìn)行金屬冶煉的時(shí)候,退火這道工序是絕對(duì)不能少的,否則金屬品的韌性會(huì)很低,非常容易損壞。而進(jìn)行退火時(shí),就需要用到退火爐了。下面優(yōu)造節(jié)能就給大家介紹什么是退火爐,退火爐溫度會(huì)受哪些因素影響?
退火爐溫度
什么是退火爐
退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。
退火爐溫度
退火爐溫度會(huì)受哪些因素影響
退火爐的溫度會(huì)受到加熱金屬的類型、烘箱溫度系統(tǒng)以及燃料類型的影響,而且空氣和氣體預(yù)熱以及金屬裝載量等因素,也會(huì)對(duì)退火爐溫度產(chǎn)生一些影響。溫控系統(tǒng)的設(shè)置退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。優(yōu)造節(jié)能認(rèn)為,退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。退火爐骨架由各種型鋼焊接而成,外框用槽鋼作主梁,圍板采用冷薄板,臺(tái)車用槽鋼作主梁,底板及前后端板采用中板。
退火爐溫度會(huì)受到很多因素的影響,比如加熱金屬的類型,以及所使用的燃料類型等。此外,金屬裝載量對(duì)于退火爐溫度也有很大的影響。
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