在對(duì)金屬進(jìn)行退火處理的時(shí)候,都需要用到退火爐。而很多的小型企業(yè)因?yàn)楫a(chǎn)量較低,所以都會(huì)選擇使用微型退火爐。接下來優(yōu)造節(jié)能就帶大家來看看什么是退火爐,微型退火爐都有哪些特點(diǎn)?
微型退火爐
什么是退火爐
退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。據(jù)優(yōu)造節(jié)能了解,退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐骨架由各種型鋼焊接而成,外框用槽鋼作主梁,圍板采用冷薄板,臺(tái)車用槽鋼作主梁,底板及前后端板采用中板。
微型退火爐
微型退火爐都有哪些特點(diǎn)
1、電爐裝載量大、生產(chǎn)率高,特別適用于小、中型機(jī)件的熱處理加熱用,節(jié)能達(dá)30%,爐溫均勻,智能數(shù)顯表PID(如圖)自動(dòng)控制爐溫,精密高;
2、電爐裝御料方便,操作條件好;
3、爐門與爐體的密封為自動(dòng)密封,無需人工密封;
4、電爐設(shè)有連鎖保護(hù)裝置,可防止因誤操作而發(fā)生的故障及事故。
退火爐是冶煉企業(yè)必須要用到的設(shè)備,而微型退火爐很適合小型冶煉企業(yè)使用。而微型退火爐具有裝料方便、使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)。
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