退火是金屬冶煉中必不可少的一道工序,在進(jìn)行退火的時(shí)候,就要用到退火爐了?,F(xiàn)在的退火爐有很多類型,比如井式退火爐、臺(tái)車式退火爐以及臥式連續(xù)退火爐。接下來(lái)優(yōu)造節(jié)能就給大家介紹什么是退火爐,臥式連續(xù)退火爐有哪些特點(diǎn)?
臥式連續(xù)退火爐
什么是退火爐
退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的。優(yōu)造節(jié)能認(rèn)為,可以加熱晶片以激活摻雜劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門(mén)為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。
臥式連續(xù)退火爐
臥式連續(xù)退火爐有哪些特點(diǎn)
1、材料整個(gè)退火工藝過(guò)程都置于保護(hù)氣氛中,經(jīng)退火的工件表面光亮無(wú)氧化,材料表面不脫碳氧化。
2、由于爐內(nèi)保護(hù)氣由特制風(fēng)機(jī)強(qiáng)對(duì)流循環(huán),爐溫均勻,使?fàn)t內(nèi)溫差控制在5℃以內(nèi);從而有效保證爐內(nèi)所有退火材料軟硬一致,便于材料深加工。
3、采用雙爐座升溫、冷卻,準(zhǔn)連續(xù)作業(yè)模式。爐體結(jié)構(gòu)科學(xué)合理,節(jié)能效果明顯,噸鋼能耗低國(guó)內(nèi)領(lǐng)先。單爐最大裝容達(dá)90噸,生產(chǎn)效率高。
4、經(jīng)該型爐處理的材料表面光亮,免除酸洗工藝,潔凈工作環(huán)境,消除了酸污染。
5、整套設(shè)備全部微機(jī)控制,自動(dòng)化程度高,能有效保證產(chǎn)品質(zhì)量和設(shè)備安全運(yùn)行。
退火爐有很多種類型,其中臥式連續(xù)退火爐就是比較常見(jiàn)的一種,它的耗電量很低,要比其它退火設(shè)備節(jié)省60%的能源。
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