說到退火爐,很多人都是不知道的,但要是提到半導(dǎo)體,那么很多人是聽說過的,特別是最近一段時(shí)間,半導(dǎo)體是熱門新聞,而退火爐就是半導(dǎo)體器件制造中的一種工藝。那么,大家知道退火爐的分類是怎樣的嗎?退火爐制造廠家哪家好呢?下面就一起來看看吧。
退火爐制造廠家哪家好
什么是退火爐
退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的。可以加熱晶片以激活摻雜劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。
退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。
退火爐的結(jié)構(gòu)
退火爐骨架由各種型鋼焊接而成,外框用槽鋼作主梁,圍板采用冷薄板,臺(tái)車用槽鋼作主梁,底板及前后端板采用中板。
退火爐傳動(dòng)部分:臺(tái)車傳動(dòng)采用電動(dòng)機(jī)、減速機(jī)通過鏈條帶動(dòng)前端一組主動(dòng)輪傳動(dòng)。爐門傳動(dòng)是采用蝸輪減速機(jī)和電動(dòng)機(jī)組合電動(dòng)升降。
密封:臺(tái)車與爐體密封采用迷宮式結(jié)構(gòu),并在臺(tái)車兩側(cè)有自動(dòng)沙封刀密封裝置。爐門密封采用滾道式壓緊和彈簧壓緊自動(dòng)機(jī)構(gòu)密封該爐爐體部分采用優(yōu)質(zhì)耐火磚結(jié)構(gòu),保證爐膛密封性。在臺(tái)車耐壓部分采用高鋁磚砌筑,下部均添保溫磚保溫。
退火爐燃燒系統(tǒng):在油爐兩側(cè)各安裝數(shù)只燒咀,熱流在爐內(nèi)往復(fù)循環(huán),確保爐溫均勻性。根據(jù)需要可選定自動(dòng)型和半自動(dòng)型。
排煙預(yù)熱裝置:在爐后上端安裝了排煙預(yù)熱裝置,爐內(nèi)的煙氣通過預(yù)熱器時(shí),由風(fēng)機(jī)送入冷風(fēng)進(jìn)行預(yù)熱,再由管路送至燒咀進(jìn)行助燃,并在出口安裝一只手動(dòng)碟閥,該閥可調(diào)節(jié)爐內(nèi)壓力。廣泛應(yīng)用于化工、石油、食品、冶金、機(jī)械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫(yī)藥、集中供熱等工業(yè)部門的加熱、冷卻、冷凝、蒸發(fā)等工藝過程中。
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退火爐的分類
一、臺(tái)車式退火爐
臺(tái)車式退火爐是國家標(biāo)準(zhǔn)節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電30%。獨(dú)家生產(chǎn)采用復(fù)合式高鋁瓷釘組,臺(tái)車防撞擊密封磚,自動(dòng)密封臺(tái)車和爐門,一體化連軌,不需基礎(chǔ)安裝,放在水平地面即可使用。主要用于高鉻、高錳鋼鑄件、球墨鑄鐵、軋輥、鋼球、45鋼、不銹鋼等淬火、退火、時(shí)效以及各種機(jī)械零件熱處理之用。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、無噪聲,無環(huán)境污染。
2、蓄熱性小,熱量流失少。
3、控溫精度高,爐溫均勻性強(qiáng)。
4、自動(dòng)化程度高,操作簡(jiǎn)單。
5、可采用PID編程設(shè)定,全自動(dòng)運(yùn)行。
6、密封性好,壽命長(zhǎng),安全可靠。
廣泛應(yīng)用于化工、石油、食品、冶金、機(jī)械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫(yī)藥、集中供熱等工業(yè)部門。隨著社會(huì)生產(chǎn)力的發(fā)展,其在各行業(yè)中的應(yīng)用越來越廣泛。
退火爐制造廠家哪家好
二、井式退火爐
用途:供金屬機(jī)件、環(huán)件等在額定的溫度下進(jìn)行熱處理。
設(shè)備簡(jiǎn)介:
本爐是由爐體與一個(gè)可移動(dòng)的爐蓋及控制系統(tǒng)組成。
1、爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。
2、爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動(dòng)式。
3、加熱元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金布置在爐側(cè)。
4、爐底由于承重采用高鋁磚砌筑,爐子中心采用大圈套小圈做法,里外加熱。
5、爐蓋采用液壓升降,電機(jī)控制自動(dòng)行走。
6、溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制,精度高。
井式退火爐
三、箱式退火爐
用途:主要用鋼制工件的淬火、正火、退火等常規(guī)熱處理之用的專用設(shè)備。
特點(diǎn):
1、電爐裝載量大、生產(chǎn)率高,特別適用于小、中型機(jī)件的熱處理加熱用,節(jié)能達(dá)30%,爐溫均勻,智能數(shù)顯表PID(如圖)自動(dòng)控制爐溫,精密高;
2、電爐裝御料方便,操作條件好;
3、爐門與爐體的密封為自動(dòng)密封,無需人工密封;
4、電爐設(shè)有連鎖保護(hù)裝置,可防止因誤操作而發(fā)生的故障及事故。
箱式退火爐
四、罩式退火爐
罩式退火爐主要用于在自然氣氛中進(jìn)行薄板材退火以及鋼件的正火處理。
1、特殊鋼、精密合金、大型全纖維臺(tái)車式電阻爐說明帶材、線材的光亮退火。
2、特殊鋼鑄、鍛件的退火。
3、硅鋼片成品退火。
4、金屬、非金屬粉末壓制作件的燒結(jié)等。
五、連續(xù)光亮退火爐
用途:用于不同規(guī)格銅直管(棒)、鋼管、鋁管或盤園在控制氣氛下連續(xù)光亮退火。
特點(diǎn):工件連續(xù)通過預(yù)熱、加熱、保溫、緩冷、冷卻,不受長(zhǎng)度限制。傳動(dòng)采用托輥式同步傳動(dòng),變頻調(diào)速,平穩(wěn)可靠。通保護(hù)氣氛和強(qiáng)力的熱氣氛循環(huán),溫度均勻,內(nèi)外表面十分光亮。冷卻區(qū)設(shè)計(jì)獨(dú)特,保證工件均勻冷卻。處理的產(chǎn)品內(nèi)外表面光亮,產(chǎn)品質(zhì)量高,生產(chǎn)率高。
加熱方式:電加熱或燃?xì)饧訜帷?/p>
生產(chǎn)線組成:前輥道料臺(tái)、前換氣室、前預(yù)熱區(qū)、加熱爐、緩冷區(qū)、冷卻區(qū)(含過渡區(qū)及強(qiáng)風(fēng)冷區(qū))、后換氣室(含水冷區(qū))后輥道料系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、保護(hù)氣氛裝置。
六、罩式光亮退火爐
特點(diǎn):
1、材料整個(gè)退火工藝過程都置于保護(hù)氣氛中,經(jīng)退火的工件表面光亮無氧化,材料表面不脫碳氧化。
2、由于爐內(nèi)保護(hù)氣由特制風(fēng)機(jī)強(qiáng)對(duì)流循環(huán),爐溫均勻,使?fàn)t內(nèi)溫差控制在5℃以內(nèi);從而有效保證爐內(nèi)所有退火材料軟硬一致,便于材料深加工。
3、采用雙爐座升溫、冷卻,準(zhǔn)連續(xù)作業(yè)模式。爐體結(jié)構(gòu)科學(xué)合理,節(jié)能效果明顯,噸鋼能耗低國內(nèi)領(lǐng)先。單爐最大裝容達(dá)90噸,生產(chǎn)效率高。
4、經(jīng)該型爐處理的材料表面光亮,免除酸洗工藝,潔凈工作環(huán)境,消除了酸污染。
5、整套設(shè)備全部微機(jī)控制,自動(dòng)化程度高,能有效保證產(chǎn)品質(zhì)量和設(shè)備安全運(yùn)行。
適用范圍:
1、黑色金屬鋼帶、鋼絲、鋼管件中間和成品光亮退火。
2、有色金屬銅帶、銅絲、銅管、銅棒中間和成品光亮退火。
3、標(biāo)準(zhǔn)件、鏈條、機(jī)械零部件等散件光亮退火。
退火爐按熱源分類
退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等,其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應(yīng)用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室,直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。為了降低能耗,煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng),將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風(fēng)進(jìn)行煤氣的助燃。
退火爐制造廠家哪家好
針對(duì)這個(gè)問題,小編想說的是,現(xiàn)在退火爐的制造廠家很多地方都有,比如北京、河南、河北有退火爐廠家,江蘇、浙江、安徽也有退火爐廠家,至于哪家好,小編覺得一個(gè)是就近的原則吧,這些有利于節(jié)省成本,另一個(gè)當(dāng)然是看質(zhì)量和價(jià)格了,這里小編建議大家到優(yōu)造節(jié)能去看看,上面有很多關(guān)于退火爐的信息。
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