隨著社會飛速發(fā)展，退火爐在各行各業(yè)應(yīng)用也越來越廣泛。優(yōu)造節(jié)能在退火爐方面有這豐富的經(jīng)驗，下面將為您詳細(xì)介紹退火爐操作規(guī)程是什么?退火爐操作的注意事項是什么?快來一起看看吧。

　　退火爐操作

　　退火爐

　　退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。

　　退火爐操作

　　1、裝爐前應(yīng)按生產(chǎn)工藝卡片要求，認(rèn)真核對帶卷或垛板的合金牌號、批號、規(guī)格、狀態(tài)、重量，按要求填寫記錄。

　　2、裝料時一定要裝正，帶卷上下左右前后基本對稱，卷與卷之間間隙基本一致，不允許超重、超長、超寬、超高。退火時卷與卷、垛與垛的重量差要盡量小(卷與卷的重量差小于1?T，垛與垛的重量差小于0.5T)。特殊情況時，考慮裝爐的經(jīng)濟性，可將不同厚度、不同重量的成品裝在一爐內(nèi)退火，但必須分區(qū)控制溫度，有重量差時應(yīng)將熱電偶插在小卷或小垛上。

　　3、正確安插熱電偶。熱電偶的安插深度為：卷材25～30mm，板材≮50mm。其安插位置必須位于卷或垛的中心位置，并要求安插牢靠，不漏氣，無短路現(xiàn)象。

　　4、打開爐門。首先松開爐門壓緊裝置，將爐門提升到上極限位置，并插好安全銷。

　　5、進(jìn)爐過程。⑴10T爐應(yīng)先把小車和料車間的銷子插好，然后開動小車，把料車推進(jìn)爐膛內(nèi)，等料車到位停穩(wěn)后拔出銷子，最后把小車開出爐膛停在原定的位置上。⑵20T爐應(yīng)先接通卸料車電源，啟動油泵電機，用頂升機構(gòu)將裝有工件的料盤頂升到上限位，然后把卸料車開入爐膛內(nèi)到正確位置，并將料盤放在爐膛內(nèi)的立柱上，待料盤放穩(wěn)后，把卸料車開出爐膛外停在原定的位置上，并關(guān)停油泵及卸料車電源。

　　6、關(guān)閉爐門。等小車停穩(wěn)后，拔出爐門安全銷，降下爐門到下極限位，并用氣缸壓緊爐門。爐門壓緊應(yīng)均勻、密封，無明顯漏氣現(xiàn)象。

　　7、出爐過程與進(jìn)爐過程的操作程序相反。

　　退火爐操作

　　退火爐操作的注意事項是什么

　　1、電阻爐烘干前，應(yīng)用萬用表測量電熱體與爐殼之間的電阻，不允許有短路現(xiàn)象。電爐烘干后，應(yīng)用500V表檢測其冷態(tài)絕緣電阻，其阻值不小于0.5兆歐。電阻爐使用前，必須檢查其電源接頭和電源線及整個線路的絕緣是否良好。

　　2、要經(jīng)常檢查啟閉爐門的自動斷電裝置是否良好，以免發(fā)生觸電事故。制品裝入或取出時，切勿觸及電熱體，以免自動斷電裝置失效時發(fā)生事故。電阻爐的工作電壓超過36伏時，應(yīng)有良好的接地裝置。

　　3、自動控制溫度裝置，可以保證燒成曲線按規(guī)定升溫曲線正確進(jìn)行。加熱燃?xì)鉅t因此，必須經(jīng)常注意各種檢測儀表工作是否正常。

　　4、爐膛要經(jīng)常保持清潔，在工作完畢后應(yīng)將氧化鐵屑和其它雜物清除干凈。清除工作必須在切斷電源和爐溫下降后進(jìn)行。

　　5、采用帶有爆炸性氣體的爐子或放出有害氣體的爐子，加熱燃?xì)鉅t必須有防爆裝置或其它安全措施。

　　6、爐殼外的裸露帶電部分或傳動裝置應(yīng)設(shè)置防護(hù)罩，為了保證電爐系統(tǒng)操作安全可靠，應(yīng)設(shè)置各種必要的安全裝置。

　　以上就是優(yōu)造節(jié)能對于退火爐操作的分享。你知道退火爐操作規(guī)程是什么，退火爐操作的注意事項是什么了嗎?對此有沒有幫助到您呢?如果對您有幫助，記得多多支持我們。