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小型高溫退火爐有什么作用?使用時需要注意什么?

  工業(yè)經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展便利了我們的生活,工業(yè)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展離不開精密的儀器,比如小型高溫退火爐。那么你知道小型高溫退火爐有什么作用?使用時需要注意什么?本文將為您詳細(xì)介紹。

小型高溫退火爐

小型高溫退火爐



  退火爐

  退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。



  高溫退火的作用:

 ?、俑纳苹蛳撹F在鑄造、鍛壓、軋制和焊接過程中所造成的各種組織缺陷以及殘余應(yīng)力,防止工件變形、開裂;

 ?、谲浕ぜ员氵M(jìn)行切削加工;

  ③細(xì)化晶粒,改善組織以提高工件的機(jī)械性能;

  ④為最終熱處理(淬火、回火)作好組織準(zhǔn)備。



  小型高溫退火爐使用注意事項:

  1、電阻爐烘干前,應(yīng)用萬用表測量電熱體與爐殼之間的電阻,不允許有短路現(xiàn)象。電爐烘干后,應(yīng)用500V表檢測其冷態(tài)絕緣電阻,其阻值不小于0.5兆歐。電阻爐使用前,必須檢查其電源接頭和電源線及整個線路的絕緣是否良好。

  2、要經(jīng)常檢查啟閉爐門的自動斷電裝置是否良好,以免發(fā)生觸電事故。制品裝入或取出時,切勿觸及電熱體,以免自動斷電裝置失效時發(fā)生事故。電阻爐的工作電壓超過36伏時,應(yīng)有良好的接地裝置。

小型高溫退火爐

小型高溫退火爐



  3、自動控制溫度裝置,可以保證燒成曲線按規(guī)定升溫曲線正確進(jìn)行。加熱燃?xì)鉅t因此,必須經(jīng)常注意各種檢測儀表工作是否正常。

  4、爐膛要經(jīng)常保持清潔,在工作完畢后應(yīng)將氧化鐵屑和其它雜物清除干凈。清除工作必須在切斷電源和爐溫下降后進(jìn)行。

  5、采用帶有爆炸性氣體的爐子或放出有害氣體的爐子,加熱燃?xì)鉅t必須有防爆裝置或其它安全措施。

  6、爐殼外的裸露帶電部分或傳動裝置應(yīng)設(shè)置防護(hù)罩,為了保證電爐系統(tǒng)操作安全可靠,應(yīng)設(shè)置各種必要的安全裝置。



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